电子特气

上游 · 供给
  • (无)
↓ 电子特气 ↓
本行业 · 电子特气
↓ 输出给下游 ↓
下游 · 输出

行业规模

行业销售总额 · 中国大陆市场 · 按收入 · 亿元 · 年度 · 单位 亿元

最近一期:2025 · 279 亿元

集中度

2023 · 全球
CR590%

市占率

暂无公开口径:文档已收录本区块,但公开渠道无可溯源点值(见表下注与「口径缺口登记」)。

行业企业列表

7 家
展开 7 家企业
公司角色上市备注来源
—电子特气(含氟)已上市中船特气:国内首个进入 5nm 制程的电子特气供应商,六氟化钨、三氟化氮实现国产替代i
华特气体电子特气(含氟/混配)SSE:688268华特气体:以高纯六氟乙烷入手实现进口替代,规模化供应 50 余种产品,数量国内居首i
—电子特气(氢类/磷烷砷烷)已上市南大光电:高纯磷烷、砷烷产业化打破国外封锁,氢类电子特气技术与产能居世界前列i
—电子特气与半导体材料已上市雅克科技:为台积电、三星、Intel、中芯国际、海力士、京东方批量供气;2024 年电子特气收入 2.04 亿元(+0.88%)i
中船特气电子特气(NF3/WF6)SSE:688146中船特气:高纯 NF3/WF6 全球主要供应商之一,电子特气占 85.2%;2025 年营收 22.60 亿元(+15.9%)i
金宏气体综合气体(大宗+特气)SSE:688106金宏气体:大宗 42%+特气 32% 一站式供气,泛半导体下游占 22.9%;2025 年营收 27.77 亿元(+9.9%)i
广钢气体电子大宗气体(on-site)SSE:688548广钢气体:晶圆厂/面板厂现场制气(电子大宗占 71.4%、长约属性),广州工控体系;2025 年营收 24.25 亿元(+15.3%)i

主流技术路线

按成熟度分组
成熟
  • 含氟电子特气三氟化氮、六氟化钨等刻蚀/清洗用气,国产已实现替代并进入 5nm 制程代表:—i
  • 氢类电子特气(磷烷/砷烷)掺杂与沉积用气,国产技术与产能已跃居世界前列代表:—i
放量中
  • 高纯混配气按客户工艺配方定制混配,认证周期长、客户粘性高代表:—i

新兴技术趋势

验证中 · 早期路线与趋势判断
验证中
  • 光刻气与前驱体准分子激光用混合气与 High-K/ALD 前驱体仍依赖进口,是国产化最低的子品类代表:—i
  • 国产化率提升是主线:市场预测 2025 年国产化率提升至 25%,国内企业在通用品类已完成 G5 级技术突破,功能品类逐步打破外资垄断(依据 ii)
  • 下游应用扩张:集成电路、显示面板之外,LED 与光伏对电子特气的需求也在增加(依据 i)
  • 高端前驱体是下一站:2025 年前三季度全球半导体金属/氧化物前驱体市场约 13.5 亿美元(同比 +11%),预计 2028 年中国前驱体市场达 12 亿美元(依据 i)
来源(5 条,点击展开)
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