屹唐股份
Beijing E-Town Semiconductor Technology Co., Ltd.行业布局图
圈选框 = 有布局 · 参评 4 家2/4 层一、主业情况
北京屹唐半导体科技股份有限公司 2015 年 12 月成立于北京，为北京亦庄国投背景的集成电路设备公司；2016 年 5 月收购美国 Mattson Technology 获得干法去胶、快速热处理与刻蚀的产品技术与全球渠道，总部位于中国、面向全球经营 ii。
产品覆盖干法去胶、干法刻蚀、快速热处理（RTP）与毫秒级退火四类晶圆加工设备：干法去胶设备 2020 年以 31.3% 份额居全球第一、2023 年按 Gartner 口径以 34.6% 居全球第二（仅次于韩国 PSK）；RTP 设备长期居全球第二（2021 年约 11.5%、2025 年约 13%），是国内唯一可大规模量产单晶圆 RTP 设备的厂商；干法刻蚀为第二增长曲线 i。
客户覆盖全球主要芯片制造商与国内领先厂商；2025 年收入 97.79% 来自专用设备及备品备件，服务占 2.15%；中国大陆收入占 70.46%、海外占 29.54% i。公司 2025 年 7 月 8 日登陆科创板 i。
收入构成（按维度分面）
- 销售专用设备及备品备件97.79%49.6 亿元
- 服务2.15%1.1 亿元
- 其他0.05%280 万元
主要产品
| 产品 | 定位 | 代表客户 | 来源 |
|---|---|---|---|
| 干法去胶设备 | 光刻后去胶（dry strip），全球份额前二（2023 年 34.6%） | — | i |
| 快速热处理（RTP）设备 | 单晶圆秒级升降温退火/活化，全球第二（约 13%） | — | i |
| 干法刻蚀设备 | TSV 等刻蚀应用，第二增长曲线 | — | i |
| 毫秒级退火设备 | 先进节点掺杂活化的闪火退火（ms-anneal） | — | i |
二、财务情况
五年一期财务标准表原文
| 期间 | 收入 | 净利润 | 毛利率 | 净利率 | 来源 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2021 | 3240.8 | 181.2 | 30.21 | 5.59 | i |
| 2022 | 4762.6 | 382.5 | 28.52 | 8.03 | i |
| 2023 | 3931.4 | 309.4 | 35.03 | 7.87 | i |
| 2024 | 4633.0 | 540.8 | 37.39 | 11.67 | i |
| 2025 | 5076.3 | 670.8 | 38.25 | 13.21 | i |
三、技术情况
355 字 / 上限 500 字屹唐的技术底座来自 Mattson 的产品谱系与持续自研：干法去胶以远程等离子体技术见长，覆盖逻辑与存储的先进节点；RTP/毫秒级退火是先进逻辑与存储掺杂活化的关键设备，毫秒级退火为下一代节点储备 i。公司研发面向全球前沿节点：2021–2025 年研发费用从 3.91 亿元增至 7.39 亿元、研发占比维持 11%–15.5%，研发人员 397 人（占员工三成）i。需注意的风险点是供应链：招股阶段披露核心零部件境外依赖度约 99%（2021 年物料清单口径），本土替代是长期命题 i。编者判断：屹唐是国产设备中少有的「两个细分品类都进全球前二」的公司，其估值锚是去胶＋RTP 在大陆产线的复购率，刻蚀能否打开第三曲线决定天花板 i。
四、股东情况
按披露期| 股东 | 持股 | 备注 | 来源 |
|---|---|---|---|
| 北京屹唐盛龙半导体产业投资中心（有限合伙） | 40.55 | 控股股东（亦庄国投背景） | i |
| BEST Holdings #1, LLC | 8.88 | — | i |
| Oceanpine Marvelous Limited | 6.49 | — | i |
| 环旭创芯（北海）投资有限公司 | 4.48 | — | i |
| 江苏招银产业基金管理有限公司－南京招银现代产业壹号股权投资基金（有限合伙） | 3.42 | 产业基金 | i |
| 海南鸿道股权投资基金管理有限公司－宁波梅山保税港区鸿道致鑫投资管理合伙企业（有限合伙） | 2.82 | — | i |
| 共青城渐升创业投资合伙企业（有限合伙） | 2.37 | — | i |
| 天津宸辉私募基金管理有限公司－天津和谐海河股权投资合伙企业（有限合伙） | 2.25 | — | i |
| 红杉鹏辰（厦门）股权投资合伙企业（有限合伙） | 1.80 | 创投基金 | i |
| BEST Holdings #2, LLC | 1.76 | — | i |
五、员工情况
来源
6 条[屹唐官网-2026]屹唐股份官网：干法去胶 / 快速热处理 / 干法刻蚀设备与应用方案北京屹唐半导体科技股份有限公司 · 2026 · tier-1原文[证券时报-屹唐-2025]屹唐股份 IPO 启动发行：干法去胶与 RTP 两大核心设备市占率稳居全球前二（Gartner/招股书数据转引）证券时报 · 2025-06 · tier-3原文[东财-688729-财务]688729（屹唐股份）主要财务指标：营业总收入/归母净利润/毛利率/净利率/研发费用/研发人员/员工数（年报口径）东方财富（F10 财务数据接口） · 2026-10 · tier-3原文[东财-688729-构成]688729（屹唐股份）主营业务构成：按产品/地区分类的收入与占比（2025 年报）东方财富（F10 主营构成接口） · 2026-10 · tier-3原文[东财-688729-股东]688729（屹唐股份）前十大股东（2026-06-30）东方财富（F10 股东数据接口） · 2026-10 · tier-3原文[东财-688729-概况]688729（屹唐股份）公司概况：主营产品与全球化经营描述东方财富（F10 公司概况接口） · 2026-10 · tier-3原文