薄膜沉积与刻蚀设备
行业规模
行业销售总额 · 中国大陆市场 · 按收入 · 亿元 · 年度 · 单位 亿元
最近一期：2024 · 1,679 亿元
集中度
暂无公开口径：文档已收录本区块，但公开渠道无可溯源点值（见表下注与「口径缺口登记」）。
行业企业列表
8 家展开 8 家企业
| 公司 | 角色 | 上市 | 备注 | 来源 |
|---|---|---|---|---|
| 应用材料 | 沉积/刻蚀 | 已上市 | 沉积与刻蚀平台型龙头，CVD/PVD/ALD 全覆盖 | — |
| 泛林集团 | 刻蚀 | 已上市 | 全球刻蚀设备龙头；2024 年半导体营收约 162 亿美元（+13.2%） | — |
| 东京电子 | 刻蚀/涂胶显影 | 已上市 | 干法刻蚀约 25%，涂胶显影全球第一（约 90%） | — |
| 北方华创 | 平台型设备 | 已上市 | 刻蚀/薄膜/清洗/热处理最全产品矩阵（对标 AMAT），先进制程与成熟制程并发 | — |
| 中微公司 | 刻蚀 | 已上市 | 国内刻蚀龙头，8800+ 反应台覆盖 220 余条产线；Primo XD-RIE 达 90:1 极高深宽比 | — |
| 拓荆科技 | 薄膜沉积 | 已上市 | 国内 PECVD/ALD 主力，晶圆级键合设备延伸 | — |
| 屹唐股份 | 刻蚀/去胶 | SSE:688729 | 屹唐股份：干法去胶全球前二（2023 年 34.6%）、干法刻蚀为第二曲线；2016 年收购 Mattson，2025 年营收 50.76 亿元（+9.6%） | i |
| 微导纳米 | ALD（光伏+半导体） | SSE:688147 | 微导纳米：ALD 设备（光伏钝化层基本盘占 60%，半导体先进制程占 33%）；2025 年营收 26.33 亿元（−2.5%） | i |
主流技术路线
按成熟度分组新兴技术趋势
验证中 · 早期路线与趋势判断来源（4 条，点击展开）
[东吴-2026-02]用户整理2026-02-27 · tier-2[思瀚-设备-2025-07]刻蚀设备及薄膜沉积设备市场概况及产业规模思瀚产业研究院（转引 SEMI / Mordor Intelligence / Maximize Market Research） · 2025-07-17 · tier-3原文[东财-688729-财务]688729（屹唐股份）主要财务指标：营业总收入/归母净利润/毛利率/净利率/研发费用/研发人员/员工数（年报口径）东方财富（F10 财务数据接口） · 2026-10 · tier-3原文[东财-688147-财务]688147（微导纳米）主要财务指标：营业总收入/归母净利润/毛利率/净利率/研发费用/研发人员/员工数（年报口径）东方财富（F10 财务数据接口） · 2026-10 · tier-3原文