热处理设备

上游 · 供给
  • （无）
↓ 热处理设备 ↓
本行业 · 热处理设备
↓ 输出给下游 ↓
下游 · 输出

行业规模

行业销售总额 · 世界市场 · 按收入 · 亿美元 · 年度 · 单位 亿美元

最近一期：2025 · 19.9 亿美元

集中度

2020 · 全球
CR382%
CR587.2%

市占率

2020 · 合计 72.2%

行业企业列表

5 家
展开 5 家企业
公司角色上市备注来源
应用材料热处理设备NASDAQ:AMAT应用材料：全球热处理设备份额 46%、RTP 单品类 69.7%，均为第一i
东京电子热处理设备TSE:8035东京电子：全球份额 21%，立式炉管主力供应商i
北方华创热处理设备SZSE:002371北方华创：全球份额 0.2%（2020），但在长江存储氧化/扩散/热处理招标中占比已超 30%（2021-10）i
—热处理设备TSE:6620日立国际电气（Kokusai）：全球份额 15%，立式炉管主要供应商i
屹唐股份热处理设备（RTP）SSE:688729屹唐股份：全球份额 5%、RTP 单品类 11.5%（全球第二），长江存储占比 1%；2025 年营收 50.76 亿元（+9.6%）ii

主流技术路线

按成熟度分组
成熟
  • 立式炉管（氧化/扩散/退火）批量处理、产能高，成熟制程与存储堆叠主力代表：东京电子i
  • 快速热处理（RTP）秒级升降温，先进逻辑的活化与退火必需；应用材料近七成份额代表：应用材料i
  • 卧式炉早期主流形态，逐步被立式炉替代代表：—i
放量中
  • 栅极堆叠专用高温工艺先进逻辑栅极结构专用，价值量占比约 17%代表：—i

新兴技术趋势

验证中 · 早期路线与趋势判断
  • 国产替代空间明确：热处理是国产化率已达 30%–40% 的第二梯队品类，头部厂商在存储客户招标中份额快速上升（依据 ii）
  • 存储堆叠推高炉管用量：3D NAND 层数提升与 DRAM 结构复杂化带来更多氧化/退火工序（依据 i）
  • RTP 是国产最有希望的单点：屹唐股份已以 11.5% 位居全球第二，说明单品类突破路径可行（依据 i）
来源（3 条，点击展开）
  • [华经-热处理设备-2021-08]全球热处理设备行业发展现状分析，呈现出寡头垄断（市场规模、分类结构与厂商份额）华经产业研究院 · 2021-08-30 · tier-3原文
  • [东吴-2026-02]用户整理2026-02-27 · tier-2
  • [东财-688729-财务]688729（屹唐股份）主要财务指标：营业总收入/归母净利润/毛利率/净利率/研发费用/研发人员/员工数（年报口径）东方财富（F10 财务数据接口） · 2026-10 · tier-3原文