华卓精科

Huazhu Jingke
未上市光刻机工件台 / 精密运动平台

行业布局图

圈选框 = 有布局 · 参评 1 家2/4 层

一、主业情况

华卓精科主营光刻机双工件台(DWS 系列)与精密运动平台,是全球第二家(仅次于 ASML)掌握并量产光刻机双工件台的厂商,DWS 系列已交付 4 台,与 上海微电子 深度协同。

精密运动平台占营收约三分之二。公司未上市,股东与整体财务数据素材未覆盖。

主要产品

口径:世界市场 · 按收入 · 百万元 · 年度
产品定位代表客户来源
DWS 系列双工件台全球仅 ASML 与公司量产;已交付 4 台上海微电子—
精密运动平台占营收约三分之二的收入主体——

客户行业分布图

1 家客户 · 3 个行业
展开客户分布(1 家客户)
2/4 层

二、财务情况

五年一期
财务标准表原文
口径:世界市场 · 按收入 · 百万元 · 年度
期间收入净利润毛利率净利率来源
2021—————
2022—————
2023—————
2024—————
2025—————

三、技术情况

242 字 / 上限 500 字

双工件台使测量与曝光并行,光刻机产能提升 30-50%、套刻精度逼近 2nm;全球仅 ASML 与公司实现量产(ASML 磁悬浮架构定位 0.5nm/1m/s,NXE:3800E 三工件台 160WPH)。公司 DWS 定位精度 1nm、速度 0.8m/s、3000 小时误差小于 0.3nm、套刻 1.7nm;经 上海微电子 验证,使 28nm 光刻机产能提升 42%。

双工件台是国产光刻从「能曝光」走向「能量产」的关键分系统,公司卡位稀缺;交付规模(4 台)与量产一致性仍是与 ASML 的主要差距。