离子注入设备

上游 · 供给
  • （无）
↓ 离子注入设备 ↓
本行业 · 离子注入设备
↓ 输出给下游 ↓
下游 · 输出

行业规模

行业销售总额 · 中国大陆市场 · 按收入 · 亿美元 · 年度 · 单位 亿美元

最近一期：2024 · 12.2 亿美元

集中度

2024 · 全球
CR595.6%

市占率

暂无公开口径：文档已收录本区块，但公开渠道无可溯源点值（见表下注与「口径缺口登记」）。

行业企业列表

8 家
展开 8 家企业
公司角色上市备注来源
应用材料离子注入NASDAQ:AMAT应用材料：全球离子注入机第一大厂商，中束流/大束流/高能全平台i
思锐智能离子注入未上市思锐智能：ALD 设备商转型切入离子注入，SR11 高能/大束流系列已出货，碳化硅机型验证中i
北方华创离子注入SZSE:002371北方华创：平台型设备商新进入离子注入领域i
—离子注入NASDAQ:ACLS亚舍立（Axcelis）：全球前五大厂商之一，大束流与高能机型主力i
—离子注入已上市住友重工/日新/ULVAC：日系厂商，与上述两家合计占全球 95.6%i
—离子注入未上市烁科中科信：中国电科体系，已进入国内前五大供应商i
—离子注入已上市凯世通（万业企业子公司）：国产大束流与中束流机型，已进入 12 英寸产线验证—
—离子注入已上市华海清科（芯嵛）：由 CMP 设备延伸至离子注入；季华恒一亦在推进i

主流技术路线

按成熟度分组
成熟
  • 中束流离子注入常规掺杂主力，剂量与角度控制精度要求高代表：应用材料i
放量中
  • 大束流离子注入高剂量掺杂（源漏、多晶硅掺杂），国产已实现 12 英寸导入代表：思锐智能i

新兴技术趋势

验证中 · 早期路线与趋势判断
验证中
  • 高能离子注入深埋层与阱区注入，技术孤岛、国产化最难的一档代表：应用材料i
  • 特色工艺注入（高温/氢氦/SOI）面向功率器件、SOI 结构与 MEMS 加工，推动设备向多工艺融合、平台化、定制化演进代表：—i
  • 国产替代从「可用」到「可信」：国产注入设备开始进入 12 英寸产线，在功率器件、特色工艺与成熟制程节点实现实质性导入（依据 i）
  • 平台化与定制化：高温注入、氢/氦注入、SOI 结构与 MEMS 加工等新工艺需求推动设备向更高能量调控精度、更强材料适配性与更灵活工艺窗口演进（依据 i）
  • 技术孤岛属性：离子注入是设备国产化「深水区」之一，靠单点突破解决不了，需与下游晶圆厂协同验证（依据 i）
来源（2 条，点击展开）
  • [华经-离子注入-2025-12]2025 年中国半导体离子注入机行业发展现状及趋势分析，国产替代加速（全球/中国市场规模与前五大份额）华经产业研究院 · 2025-12-14 · tier-3原文
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