量检测设备
行业规模
行业销售总额 · 中国大陆市场 · 按收入 · 亿元 · 年度 · 单位 亿元
最近一期：2025 · 400.9 亿元
集中度
2023 · 全球
CR580%
行业企业列表
5 家展开 5 家企业
| 公司 | 角色 | 上市 | 备注 | 来源 |
|---|---|---|---|---|
| KLA | 量检测设备 | 已上市 | 量/检测绝对龙头，全球市占超 50%；2024 年半导体营收约 101 亿美元（+15.8%） | i |
| 应用材料 | 量检测设备 | 已上市 | 检测量测份额约 22%（另一口径），电子束检测重要供应商 | — |
| 中科飞测 | 量检测设备 | 已上市 | 国内首家平台化布局；累计交付约 1500 台、品类覆盖超 70%，四大晶圆厂高端明暗场高比例替代；2025E 收入 21.4 亿元、国产份额约 5.3% | — |
| 埃芯半导体 | 前道量测与检测设备 | 未上市 | 光学 + X 射线双技术路线，2026-04 累计出货突破 100 台 | — |
| 天准科技 | 前道量检测装备（布局中） | SSE:688003 | 天准科技：纳米级晶圆缺陷检测、套刻与关键尺寸（CD）测量；视觉量检测装备 2025 年收入 10.78 亿元（毛利率 48.2%），前道为第二曲线 | i |
主流技术路线
按成熟度分组新兴技术趋势
验证中 · 早期路线与趋势判断- 量检测是国产化率最低的设备品类，信任门槛（头部晶圆厂保留进口基准、需与海外机台 match）是主要障碍——判断：客户开放验证后国产替代将提速
- 国产在细分/新兴赛道百花齐放：二次谐波（微崇）、FTIR 膜厚（盖泽）、掩模检测（御微）等从零突破——判断：细分品类先于主流品类实现国产替代
- 电子束检测向更高能量与更小节点延伸（HV-SEM 着陆能量可达 45 keV），缺陷自动分类算法成为差异化关键
来源（4 条，点击展开）
[头豹-2024-05]2024 年中国晶圆检测设备行业研究报告（晶圆制造设备价值量占比与量/检测市场；VLSI、专家访谈口径）头豹研究院 · 2024-05 · tier-2原文[东吴-2026-02]用户整理2026-02-27 · tier-2[VLSI-Metrology-2025-10]半导体量检测设备结构：2024 年检测设备 62.6%、量测设备 33.5%VLSI Research（转引：老虎说芯） · 2025-10 · tier-3原文[东财-688003-构成]688003（天准科技）主营业务构成：按产品/地区分类的收入与毛利率（2025 年报）东方财富（F10 主营构成接口） · 2026-10 · tier-3原文