艾恩半导体

艾恩半导体专注离子注入机单一品类，已形成覆盖中束流、大束流、高能、特种的完整产品矩阵，涉硅基与碳化硅两大工艺路线，其中碳化硅高温离子注入机已实现量产出货。离子注入是设备国产化的「技术孤岛」：核心技术为离子光学、电磁质量分析与高压加速，更接近粒子加速器，刻蚀/薄膜沉积的技术积累难以迁移；当前国内离子注入整体国产化率不足 15%，大束流机型不足 10%、高能机基本空白，国际最先进机型已对华禁运。公司未上市，无经审计公开财报，股东与员工数据素材未覆盖。