华海清科
Hwatsing Technology Co., Ltd.已上市成立 2013SSE:688120CMP 设备 / 减薄设备 / 晶圆再生
行业布局图
圈选框 = 有布局 · 参评 3 家2/4 层一、主业情况
华海清科 2013 年成立于天津，由清华大学化学机械抛光（CMP）技术成果转化而来，2022 年登陆科创板（688120）i。公司以 CMP 设备为核心，产品线延伸至 Versatile 减薄设备、清洗设备、离子注入设备（收购芯嵛半导体切入）与晶圆再生服务，形成「装备 + 服务」双收入结构 i。
设备已进入中芯国际、华虹、长鑫存储、长江存储等国内主要逻辑与存储产线；存储厂扩产是 CMP 设备需求的主要驱动力 i。2025 年公司营收 46.48 亿元（+36.46%）、归母净利润 10.84 亿元，其中半导体服务收入 5.94 亿元、同比增长 61.23% i。
收入构成（按维度分面）
构成 · 产品类型
2025 · 占比合计 100.0%
- 半导体装备87.22%40.5 亿元
- 半导体服务12.78%5.9 亿元
主要产品
口径：中国大陆市场 · 按收入 · 百万元 · 年度
| 产品 | 定位 | 代表客户 | 来源 |
|---|---|---|---|
| 12/8 英寸 CMP 设备 | 前道全局平坦化核心装备；Universal-H300 进入 14nm 产线并开展 5nm 工艺验证，28nm 及以上稳定量产 | 中芯国际 | i |
| Versatile 减薄设备 | 面向薄晶圆与 TSV 背面工艺，2025 年出机 20 台以上，受益 HBM 与 3D 堆叠 | — | i |
| 离子注入设备 | 经收购芯嵛半导体切入，2025 年收入 1.16 亿元，仍处导入期 | — | i |
| 晶圆再生服务 | 天津基地 20 万片/月满载，昆山基地 40 万片/月在建设 | — | i |
客户行业分布图
3 家客户 · 6 个行业二、财务情况
五年一期金额（百万元） · 中国大陆市场 · 按收入 · 百万元 · 年度
比率（%） · 中国大陆市场 · 按收入 · 百分比 · 年度
财务标准表原文
口径：中国大陆市场 · 按收入 · 百万元 · 年度
| 期间 | 收入 | 净利润 | 毛利率 | 净利率 | 来源 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2021 | 804.9 | 198.3 | 44.73 | 24.63 | i |
| 2022 | 1648.8 | 501.6 | 47.72 | 30.42 | i |
| 2023 | 2508.0 | 723.7 | 43.55 | 28.86 | i |
| 2024 | 3406.2 | 1023.4 | 43.20 | 30.05 | i |
| 2025 | 4648.2 | 1083.7 | 41.81 | 23.31 | i |
三、技术情况
431 字 / 上限 500 字技术底座来自清华大学的 CMP 研究积累，抛光头、多区压力控制、终点检测与抛光垫修整等核心模块自研，12 英寸机型全流程国产化；Universal-H300 已进入中芯国际 14nm 产线并开展 5nm 工艺验证，28nm 及以上稳定量产 i。公司沿「平坦化 + 薄型化 + 掺杂」三条线延伸：Versatile 减薄设备面向 TSV 背面工艺，HBM 多层堆叠与 3D 封装打开新的减薄与抛光需求；清洗设备与离子注入设备（芯嵛半导体）仍处导入期，2025 年离子注入收入 1.16 亿元 i。晶圆再生业务形成「设备—耗材—服务」闭环，天津基地 20 万片/月满载、昆山基地 40 万片/月在建设 i。2025 年研发投入 5.43 亿元（占营收 11.69%）、研发人员 876 人（占员工 33.01%）i。编者判断：国产替代已从「有无」进入「份额与制程」阶段，先进制程与先进封装是能否对冲周期的主要变量。
四、股东情况
按披露期| 股东 | 持股 | 备注 | 来源 |
|---|---|---|---|
| 清控创业投资有限公司 | 27.18 | 控股股东 | i |
| 路新春 | 4.5927 | 自然人股东 | i |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 4.32 | — | i |
| 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 3.14 | — | i |
| 天津科海投资发展有限公司 | 3.05 | — | i |
| 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 2.37 | — | i |
| 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2.22 | — | i |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1.97 | — | i |
| 香港中央结算有限公司 | 1.81 | 境外投资者（名义持有人） | i |
| 雒建斌 | 1.7864 | 自然人股东 | i |
五、员工情况
员工数（人）· 2025
研发人员占比（%）
来源
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